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| 分辨率 | 1000 |
| 重量 | 1KG |
| 品牌 | 横河 |
| 货号 | |
| 电源电压 | 24V/220 |
| 型号 | EJA110A |
| 测量范围 | 根据现场管道压力 |
| 规格 | |
| 加工定制 | 是 |
| 外形尺寸 | 40*40 |
| 测量精度 | 0.5 |
1、单晶硅谐振传感器
在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术(MEMS),分别在其表面的中心和边缘制成两个形状、大小完全一致的H形谐振梁,且处于微型真空腔中,使其既不与充灌液接触,又确保振动时不受空气阻尼的影响。硅谐振梁处于由 磁铁提供的磁场中,与变压器、放大器等组成一正反馈回路,让谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时,硅片将产生变形,导致中心谐振梁因压缩力而频率减小,边缘谐振因受拉伸力而频率增加,因而使两个H形谐振梁分别感受到不同应变作用,其结果是中心谐振梁因受压缩力而频率减少,边缘谐振梁因受到张力而频率增加,两个频率之差对应不同的压力信号。
EJA变送器内置的特性修正存储器用来存储传感器的环境温度、静压及输入、输出特性的修正数据,经CPU运算后,可使变送器获得良好的温度特性、静压特性及输入、输出特性。